智能真空計SC-10的原理及操作使用

發布日期：2022-07-15      瀏覽次數：2628

智能真空計SC-10簡述

SC-10智能真空計是我們開發的一種全新的方法，它是一種自動真空計，可以同時測量殘余氣體成分和全壓真空度。
全壓真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當總壓達到50Pa左右時，氣體成分的分壓自動啟動，可以從10-5Pa左右測量到10- 6帕。
可以測量氣體成分并檢查粗壓區域的泄漏，這是傳統氣體分析儀無法做到的。

智能真空計SC-10原理



頻譜模式屏幕

SC-10 通過測量總壓力的冷陰極計的放電顏色來區分氣體成分。利用光的顏色（波長）根據氣體成分而不同的事實來測量成分。在 SC-10 的光譜模式屏幕上也可以看到氣體成分的波長。

由于氣體成分測量單元設置在大氣壓側，因此不會被真空中的氣體污染，可以進行不受污垢影響的測量。此外，冷陰極規沒有燈絲，因此可用于堅固耐用的應用。

　　　　




智能真空計SC-10操作使用

由于智能真空計可以測量殘余氣體的成分，因此可以快速了解真空裝置的良好狀況，例如排氣中途的泄漏和水蒸氣脫氣等。下兩圖是同一裝置的不同排氣數據，但圖一為正常排氣，以水蒸氣為主要成分，確定總壓真空度，而圖二中，氮氣為泄漏所致。可以看出，從開始下降排氣約 5 分鐘后停止，如果繼續排氣，則在約 10 分鐘后氮氣量變得比水蒸氣多，總壓力真空停止。通過使用智能真空計，您可以快速找出僅通過監測全壓真空度無法理解的排氣異常及其原因。



圖1





圖 2



您不僅可以使用智能真空計找到泄漏點，還可以噴灑氦氣或氬氣來查找泄漏點。圖 3 顯示了智能真空計在泄漏點噴氬時的數據，但可以看出，由于氬氣增加和氮氣減少，此處存在泄漏。停止泄漏后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。



圖 3





圖 4

只需打開它并將其連接到您的PC，無需其他操作。SC-10內置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓力，當總壓力達到約50Pa時，自動開始殘留氣體成分的測量（分壓測量）。
不用擔心，當您恢復到大氣壓時，氣體成分測量會自動關閉。