水蒸氣雙液清洗與超聲波/高壓清洗異物去除率比較

發布日期：2023-07-11      瀏覽次數：1010

水蒸氣雙液清洗與超聲波/高壓清洗異物去除率比較

水蒸氣雙流體清洗與超聲波/高壓清洗（從超音速噴射噴嘴（OLED）以超音速噴射和清洗蒸汽和液體）的去除率比較

異物去除率（OLED）比較



與OLED玻璃板清洗的比較

測量有機EL制造過程中附著在各薄膜上的異物去除率的數據，證實了與超聲波+高壓清洗相比的壓倒性差異。 異物的去除率直接影響產量。

蒸汽2流體清洗機組基本信息|SSC系列

特點	無刷子等耗材，大大降低運行成本
	僅使用“純水"
	顯著減少化學品的使用
	顯著提高清潔能力
	也用于清潔半導體
基本配置	無金屬污染的蒸汽發生器
	超聲波蒸汽噴射噴嘴
	與洗衣機的溝通
蒸汽發生器	蒸汽產生量：2~100kg/h * 可提供與所需蒸汽量相對應的尺寸。
	電源： DIW， N2， CDA， 200VAC 或 100VAC
	蒸汽壓力控制范圍：0.05-0.3MPa
應用/成就示例	【應用】 ?太陽能電池基板的清洗 ?LED制造中的金膜剝離 ?半導體制造工藝 ?玻璃基板等的清洗 ?異物和聚合物的去除 ?去除油脂、指紋等 ?醫療應用 ?美容應用