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CHINO溫度計在半導(dǎo)體晶圓表面拋光溫度測量上的運用
●適合裝置組裝的緊湊的檢測部
●可追隨溫度變化的高速響應(yīng)
在半導(dǎo)體宇工哈的電腦技術(shù)置中，通過研磨晶片直至達(dá)到與基座相同的高度，從而達(dá)到規(guī)定的厚度。研究星期一開始調(diào)查后，晶片和基座之間會產(chǎn)生溫度差，但如果晶片達(dá)到與基座相同的高度，則溫度差消失。通過用放射溫度計測定研磨面的溫度，可以判斷研磨結(jié)束。
IR-BZ系列將檢測部與主體分離，檢測部更小，可在高溫環(huán)境下使用。配備數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設(shè)定功能，實現(xiàn)穩(wěn)定測量。
即使環(huán)境溫度發(fā)生變化，也可以進(jìn)行高精度和穩(wěn)定的測量。
兼容要求15ms跟隨性的生產(chǎn)線
范圍寬，從低溫范圍（0至1000℃）
KR2000系列是一款兼容網(wǎng)絡(luò)的無紙記錄儀，采用5.6英寸TFT彩色液晶顯示屏，具有出色的可視性，兼具高功能性和可操作性。采集周期約為100ms，精度為±0.1%FS，實現(xiàn)高速、高精度。測量數(shù)據(jù)可保存在內(nèi)存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中。可以使用網(wǎng)絡(luò)瀏覽器屏幕從內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)上的多臺計算機進(jìn)行監(jiān)控，并且可以通過 FTP 傳輸數(shù)據(jù)文件或通過電子郵件發(fā)送數(shù)據(jù)文件。
共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測溫電阻）
配備趨勢顯示、棒圖顯示、數(shù)值顯示等多種顯示功能。
最大8GB的CF卡可用于數(shù)據(jù)記錄，因此可以長期連續(xù)記錄。
配備算術(shù)、比較、邏輯運算等計算功能，還可以對輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)定運算并顯示和記錄。
報警輸出和上/下通訊可供選擇。可以使用下層通信記錄來自市售PLC*的數(shù)據(jù)，也可以從KR2000將數(shù)據(jù)寫入PLC。（*PLC 型號有限制。）
通過使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨出售）可以顯示在 KR 上。
測量數(shù)據(jù)記錄在內(nèi)存和CF卡中，并且可以在主機上回放。此外，通過使用分析/數(shù)據(jù)采集應(yīng)用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數(shù)據(jù)文件。
KR3000系列是一款兼容網(wǎng)絡(luò)的無紙記錄儀，采用可視性佳的12.1英寸TFT彩色液晶顯示屏和觸摸屏操作系統(tǒng)，功能強大且易于操作。采集周期約為100ms/所有點，精度為±0.1%FS的高速和高精度。測量數(shù)據(jù)可保存在內(nèi)存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中。可以使用網(wǎng)絡(luò)瀏覽器屏幕從內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)上的多臺計算機進(jìn)行監(jiān)控，并且可以通過 FTP 傳輸數(shù)據(jù)文件或通過電子郵件發(fā)送數(shù)據(jù)文件。
共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測溫電阻）
配備趨勢顯示、棒圖顯示、數(shù)值顯示等多種顯示功能。
最大8GB的CF卡可用于數(shù)據(jù)記錄，因此可以長期連續(xù)記錄。
配備算術(shù)、比較、邏輯運算等計算功能，還可以對輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)定運算并顯示和記錄。
報警輸出和上/下通訊可供選擇。可以使用下層通信記錄來自市售PLC*的數(shù)據(jù)，也可以從KR3000將數(shù)據(jù)寫入PLC。（*PLC 型號有限制。）
測量數(shù)據(jù)記錄在內(nèi)存和CF卡中，并且可以在主機上回放。此外，通過使用分析/數(shù)據(jù)采集應(yīng)用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數(shù)據(jù)文件。
通過使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨出售）可以顯示在 KR 上。
