引言
在眾多工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，如半導(dǎo)體制造、電子元件加工等領(lǐng)域，去膠剝離是一道關(guān)鍵工序。atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)在這類(lèi)工藝中發(fā)揮著重要作用，而二流體噴嘴作為其關(guān)鍵部件，對(duì)去膠剝離效果有著決定性影響。以下將從二流體噴嘴的工作原理、在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)、性能參數(shù)以及對(duì)去膠剝離工藝的影響等方面進(jìn)行詳細(xì)介紹。
二流體噴嘴工作原理
氣液混合機(jī)制：二流體噴嘴，也稱(chēng)為雙流體噴嘴，其核心工作原理是利用氣體和液體兩種流體相互作用來(lái)實(shí)現(xiàn)特殊的噴射效果。在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中，通常高壓氣體(如壓縮空氣等)與去膠液分別通過(guò)不同的通道進(jìn)入噴嘴。當(dāng)它們到達(dá)噴嘴出口附近時(shí)，氣體以高速流動(dòng)的狀態(tài)與液體相遇，氣體的高速流動(dòng)形成負(fù)壓區(qū)域，這種負(fù)壓作用會(huì)將液體從液體通道中吸出并破碎成細(xì)小的液滴6。
霧化過(guò)程：隨著氣液進(jìn)一步混合，氣體的動(dòng)能傳遞給液體，使得液體在離開(kāi)噴嘴后迅速霧化。這種霧化過(guò)程并非簡(jiǎn)單的物理分散，而是氣體與液體之間復(fù)雜的動(dòng)量、質(zhì)量和能量交換的結(jié)果。例如，在一些去膠工藝中，高速氣流會(huì)對(duì)液體進(jìn)行剪切，將原本較大的液滴剪切成微米級(jí)甚至更小的液滴，從而極大地增加了液體的表面積。這種高表面積的霧化液滴在接觸到待去膠的材料表面時(shí)，能夠更充分地與膠層發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理作用，提高去膠效率。
在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
高效去膠：由于二流體噴嘴能夠產(chǎn)生精細(xì)的霧化效果，使得去膠液能夠均勻地覆蓋在待處理材料表面。在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)的自動(dòng)化操作流程中，這種均勻覆蓋確保了每一處膠層都能充分接觸到去膠液，相比傳統(tǒng)的單流體噴嘴或其他涂布方式，大大提高了去膠的效率和效果。例如，在半導(dǎo)體芯片制造中，芯片表面的光刻膠分布復(fù)雜且對(duì)去膠精度要求高，二流體噴嘴可以精準(zhǔn)地將去膠液噴射到微小的芯片區(qū)域，快速去除光刻膠，而不影響芯片的其他功能區(qū)域。
靈活性與適應(yīng)性：二流體噴嘴可以通過(guò)調(diào)節(jié)氣體和液體的壓力、流量等參數(shù)，靈活控制噴射出的液滴大小、噴霧形狀和噴射角度。在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中，針對(duì)不同類(lèi)型的膠層、不同材質(zhì)的待處理材料以及不同的工藝要求，可以方便地調(diào)整這些參數(shù)。例如，對(duì)于較厚的膠層，可以適當(dāng)增加液體流量和氣體壓力，使液滴具有更大的沖擊力，更好地穿透膠層；對(duì)于一些敏感材料表面的薄膠層，則可以降低參數(shù)，采用更柔和的噴霧方式，避免對(duì)材料表面造成損傷。
防止堵塞：在去膠過(guò)程中，膠液可能會(huì)含有一些雜質(zhì)顆粒，傳統(tǒng)的單流體噴嘴容易因這些顆粒而發(fā)生堵塞。而二流體噴嘴具有較大的入口通道，并且氣體的高速流動(dòng)可以在一定程度上起到?jīng)_刷作用，減少了雜質(zhì)顆粒在噴嘴內(nèi)部沉積和堵塞的可能性。這使得 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)在長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作過(guò)程中，能夠保持穩(wěn)定的噴射性能，減少因噴嘴堵塞而導(dǎo)致的停機(jī)維護(hù)時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。
性能參數(shù)
氣液流量：氣體流量和液體流量是二流體噴嘴的重要性能參數(shù)。在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中，氣體流量通常可以在一定范圍內(nèi)精確調(diào)節(jié)，如每分鐘幾升到幾十升不等，具體取決于去膠工藝的要求和噴嘴的設(shè)計(jì)規(guī)格。液體流量同樣可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)整，一般在幾毫升每分鐘到幾百毫升每分鐘之間。合適的氣液流量比例對(duì)于獲得良好的霧化效果和去膠性能至關(guān)重要。例如，在某些去膠工藝中，氣液質(zhì)量比(GLR)可能需要保持在特定的數(shù)值范圍內(nèi)，以確保去膠液的霧化程度和對(duì)膠層的作用效果。
噴霧角度：噴霧角度決定了去膠液在待處理材料表面的覆蓋范圍。atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)所使用的二流體噴嘴的噴霧角度可以有多種選擇，常見(jiàn)的噴霧角度范圍從十幾度到一百多度不等。較小的噴霧角度適用于對(duì)局部區(qū)域進(jìn)行精確去膠，如在微小電子元件的特定部位去膠；較大的噴霧角度則適合于大面積的去膠作業(yè)，如在平板顯示器基板等大面積材料表面的去膠。通過(guò)調(diào)整噴嘴的安裝角度和選擇合適噴霧角度的噴嘴，可以滿(mǎn)足不同形狀和尺寸的待處理材料的去膠需求。
液滴粒徑：液滴粒徑大小直接影響去膠效果。二流體噴嘴產(chǎn)生的液滴粒徑通常在幾微米到幾十微米之間。較小的液滴粒徑意味著更大的比表面積，能夠更快地與膠層發(fā)生反應(yīng)，提高去膠速度。但對(duì)于一些需要較強(qiáng)沖擊力的去膠場(chǎng)景，可能會(huì)適當(dāng)增大液滴粒徑。在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中，可以通過(guò)調(diào)整氣液壓力、流量以及噴嘴的內(nèi)部結(jié)構(gòu)等方式來(lái)控制液滴粒徑，以適應(yīng)不同的去膠工藝要求。
對(duì)去膠剝離工藝的影響
化學(xué)反應(yīng)加速：精細(xì)霧化的去膠液能夠更充分地與膠層接觸，增加了去膠液中有效成分與膠分子之間的碰撞幾率，從而加速了化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行。例如，在使用化學(xué)去膠液時(shí)，液滴的微小化使得去膠液中的化學(xué)物質(zhì)能夠更快地滲透到膠層內(nèi)部，與膠分子發(fā)生溶解、分解等反應(yīng)，縮短了去膠所需的時(shí)間，提高了工藝效率。
物理作用增強(qiáng)：霧化后的液滴以高速?zèng)_擊膠層表面，產(chǎn)生一定的物理沖擊力。這種沖擊力有助于破壞膠層與待處理材料表面的粘附力，使膠層更容易從材料表面剝離。在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)的自動(dòng)化操作過(guò)程中，通過(guò)合理控制二流體噴嘴的參數(shù)，可以精確調(diào)整這種物理沖擊力的大小，既保證有效去除膠層，又不會(huì)對(duì)材料表面造成過(guò)度損傷。例如，在對(duì)一些脆性材料進(jìn)行去膠時(shí)，可以適當(dāng)降低液滴的沖擊速度和能量，避免材料表面出現(xiàn)裂紋等缺陷。
工藝一致性與重復(fù)性：二流體噴嘴在 atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)中的穩(wěn)定性能確保了去膠剝離工藝的一致性和重復(fù)性。由于噴嘴能夠精確地控制氣液混合和噴射參數(shù)，每次噴射出的去膠液在流量、霧化效果、噴霧角度等方面都具有高度的一致性。這對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)過(guò)程中保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性至關(guān)重要，無(wú)論是對(duì)單個(gè)產(chǎn)品的多次去膠操作，還是對(duì)大量相同產(chǎn)品的去膠處理，都能夠得到相同的去膠效果，提高了產(chǎn)品的良品率。
綜上所述，atomax 全自動(dòng)去膠剝離機(jī)所使用的二流體噴嘴憑借其的工作原理、顯著的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)、可調(diào)節(jié)的性能參數(shù)以及對(duì)去膠剝離工藝的積極影響，成為現(xiàn)代工業(yè)去膠工藝中不可少的關(guān)鍵部件，為提高去膠效率、保證產(chǎn)品質(zhì)量和推動(dòng)工業(yè)生產(chǎn)自動(dòng)化發(fā)展發(fā)揮著重要作用。
