從Si晶圓到玻璃基板：YP-150I/250I的跨行業檢測適配性

發布日期：2025-07-23      瀏覽次數：45

山田光學的YP-150I和YP-250I高亮度鹵素檢查燈憑借400,000 Lux超高照度、3400K色溫白光及冷鏡技術，在半導體、液晶面板、光學元件等多個行業的高精度檢測中占據重要地位。以下是其跨行業適配性的深度解析：

1. 半導體行業：Si晶圓與化合物半導體的高精度檢測

（1）Si晶圓（6英寸/8英寸）

• YP-150I：30mmφ光斑適配6英寸晶圓，可檢測0.2 μm級劃痕、拋光不均及CMP工藝殘留。

• YP-250I：60mmφ光斑覆蓋8英寸晶圓，適合大尺寸晶圓的整面掃描，提升檢測效率。

• 冷鏡技術：減少熱輻射，避免晶圓受熱翹曲（尤其對薄化晶圓至關重要）。

（2）化合物半導體（SiC/GaAs）

• SiC晶圓：YP-150I的高對比度照明可識別表面微裂紋，避免因硬脆材料加工導致的隱形缺陷。

• GaAs晶圓：3400K色溫減少熒光干擾，精準檢測外延層生長不均問題。

2. 液晶面板行業：玻璃基板與OLED的缺陷控制

（1）LCD玻璃基板

• ITO鍍層檢測：YP-250I的60mm光斑均勻照射，識別鍍層氣泡、劃痕，避免Mura（亮度不均）問題9。

• 偏光片貼合檢查：400,000 Lux照度穿透高反射層，發現貼合偏移或異物。

（2）OLED/柔性屏

• 熱敏感材料適配：冷鏡技術使熱輻射降低至傳統鋁鏡的1/3，避免柔性基板受熱變形。

• AMOLED像素檢測：YP-150I的30mm光斑精準定位微米級暗點，提升良率。

3. 光學元件與精密制造：從透鏡到金屬加工

（1）光學鏡片/棱鏡

• 鍍膜缺陷檢測：YP-150I識別AR鍍膜的納米級針孔，避免光學畸變。

• 應力分析輔助：結合偏振光檢測設備（如StrainViewerSV200），YP-250I提供均勻照明，輔助內應力分布測量。

（2）金屬/陶瓷部件

• 精密機加工件：檢測毛刺、微裂紋（如汽車發動機部件），YP-250I的寬光斑適配曲面檢測。

• 3D打印件：YP-150I的高對比度光路凸顯層紋缺陷，優化后處理工藝。

4. 跨行業核心優勢總結

行業	適配型號	關鍵應用	技術優勢
半導體	YP-150I	Si/GaAs晶圓微缺陷檢測	0.2 μm分辨率，冷鏡防熱變形
液晶面板	YP-250I	ITO鍍層、偏光片檢測	60mm均勻光斑，減少Mura漏檢
光學元件	YP-150I	鍍膜針孔、透鏡劃痕	30mm高密度點光源，納米級靈敏度
精密制造	YP-250I	金屬/陶瓷表面裂紋	寬光斑適配曲面，350W高功率照明

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5. 選型建議：行業導向決策

• 小尺寸高精度（<50mm）：選YP-150I（如6英寸晶圓、手機屏）。

• 大尺寸均勻性（>50mm）：選YP-250I（如8英寸晶圓、TV面板）。

• 熱敏感環境：優先YP系列（冷鏡技術），替代傳統金屬鹵素燈。

未來趨勢：盡管LED光源在壽命（30,000小時）上占優，但YP系列的3400K全光譜與400,000 Lux照度仍是高精度檢測的黃金標準，尤其在跨行業兼容性上不可替代。