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日本sanyu electron臺式快速涂布機

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更新日期:2024-03-19

簡要描述:

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機型
小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜
標配間歇濺射功能

日本sanyu electron臺式快速涂布機
品牌其他品牌

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ

特征


  • 直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機型

  • 小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜

  • 標配間歇濺射功能

  • 使用專yong的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。


應用/結果示例

  • 各種設備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等的應用?

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ

基本規格


陰極φ2英寸/平板型電極
濺射靶包含金靶
氣體導入機制針閥
間歇功能標配
真空泵直連式旋轉泵:20l / min(帶自動泄漏)
箱體尺寸內徑φ90mmx D90mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm
重量身體:10公斤RP:9公斤


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