日本fcon氣體混合器CUBE GM系列

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更新日期：2025-05-02

簡要描述：

日本fcon氣體混合器CUBE GM系列
● 氣體混合器[CUBEGM 系列]是包含質量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥和氣體混合器的單元型。
● 以z低配置實現低價格。
● 只需在IN側和OUT側連接配管，即可將2～4種氣體設定、控制為任意流量，供給混合氣體的裝置。

日本fcon氣體混合器CUBE GM系列

特征

日本fcon氣體混合器CUBE GM系列

規格

產品名稱	CUBE GM系列
尺寸	CUBEGM2: W315 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM3: W415 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM4: W515 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起
輸入電源	AC100V
目前的消費	MAX 1A * 安裝 4 個質量流量控制器時
流量控制范圍	1 行：FS10SCCM ~ 20SLM * 但是，混合氣體流量必須為 50SLM 或更少。
流量控制	MFC：C1000系列或FCST1000系列
流量設定/輸出顯示	0-5VDC
入口、出口閥	球閥
外漏	≦ 5 × 10 ^-7 Pa ? m ³ / sec He
耐壓	1MPa
氣體接觸材料質量	SUS316、PTFE、氟橡膠（FCST1000系列：磁性不銹鋼、氟橡膠或氯丁橡膠）
管道連接	如需 1 / 4in.SWL（等效）和其他配件，請聯系我們。
使用環境	溫度：5 至 50°C 精度保證范圍：15 至 35°C 濕度 30 至 80%（無冷凝）
配件	AC 電纜 (2m)、使用說明書

● 上述規格可能因安裝的質量流量控制器的數量而異。如需其他規格，請聯系我們。