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日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機

訪問次數：1402

更新日期：2024-03-24

簡要描述：

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K
用于等離子刻蝕和其他半導體應用的高容量熱電冷水機組

詳細介紹

品牌	其他品牌	產地	進口
冷卻方式	水冷式	儀器種類	分體式

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K

我們專為半導體加工而設計的最高容量冷水機組
3，000 或 5，000 瓦的冷卻能力
±0.05°C 溫度穩定性/重復性
兩種泵選項，流量高達 10 gpm，壓力高達 100+ psig
減少晶圓間的變化，消除晶圓效應
比基于壓縮機的冷水機組節能高達 80%
采用熱電技術，可靠性高，維護成本低
模塊化設計，易于維護

消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環境法規
使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統
通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
等離子蝕刻、等離子灰分、計量、CMP 和其他工藝的解決方案

規格

工作范圍：

-10°C 至 80°C

環境溫度：

10°C 至 40°C 無冷凝

穩定性/可重復性：

恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環境溫度時）

制冷量*：

尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 設施用水）尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 設施用水）

冷卻液/工藝流體：

針對氟惰性/高登或HFE流體進行設置
提供可選的乙二醇/水配置

工藝流體接頭：

3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

泵：

磁耦合渦輪機（高功率或高功率）

流量：

高達 10 加侖/分鐘（38 升/分鐘），流量和
壓力可調（10 至 100 psig）

油箱容積：

10 升（2.6 加侖），帶 2 個液位傳感器

設施用水：

25 升/分鐘（6 加侖/分鐘）@ 7-25°C 過濾，處理過的循環設施冷卻水，pH 6.5 至 8.2

設施水配件：

3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

N2/CDA（必需）：

500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作

接液材料：

工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設施
：密封硬質陽極氧化鋁
和不銹鋼

尺寸（寬 x 深 x 高）：

22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）

重量：

~300 磅（136 千克）干

電源輸入：

200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A

斷路器：

20/30 安培 480 VAC 3 極，帶 GFCI

遠程EMO：

外部干接點

通信：

泛林，應用材料公司， RS232，其他

警報：

溫度、液位、系統或組件
故障（顯示、干接點和機器接口）

標準：

半 S2-0200，符合 F47 標準，CE

保證：

2 年

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