光學干涉式內周面精密測量機

日本Adamant Namiki光學干涉式內周面精密測量機nano PROFILER

以前看不見的毛孔內周面的可視化現在成為可能！同時非接觸式測量內徑、圓度、劃痕等。

目前，航空航天設備的燃油噴嘴、醫療設備的中空零件、分析儀的精密噴嘴、流體軸承等精密孔加工零件得到廣泛應用，評估內周面的重要性正在迅速提高。...
內徑較大的零件可以分別用內徑測量機、圓度測量機和粗糙度/形狀測量機進行測量和評估，但對于氣孔，零件不分成兩半。無法測量.

我們開發了NMH-02納米輪廓儀，這是一種內周面測量機，通過使用近紅外光的光干涉，可以“可視化以前不可見的孔的內周面” 。

通過安裝我們小的Φ0.9mm電機，采用我們的半透明標準管方法的特殊探頭，以及我們的傾斜校正計算算法，（1）小測量內徑Φ1.1mm（2）內徑/圓度/同時形狀測量 (3) 重復測量精度 σ = 0.2 μm (4) 實現免設置測量的新概念測量機。可以說是我公司的具有超小直徑電機技術和光通信技術的產品。

可以觀察和測量氣孔的內周面，同時可以同時測量必須使用測量機單獨測量的內徑、圓度、粗糙度和形狀. 由于可以測量，測量時間可以從約30分鐘/工時顯著縮短至約30秒/工，大大有助于客戶測量吞吐量的提高。

特征

• 孔的內徑和圓度可以從Φ1.1mm的小內徑開始測量。
• 高精度測量，重復測量精度為 0.2 μm
• 免設置測量：通過原始算法處理自動修正工件傾斜度
• 測量時間：傳統測量機30分鐘→本測量機30秒（內徑/圓度/形狀同時測量）

日本Adamant Namiki光學干涉式內周面精密測量機nano PROFILER

光干涉式內周面精密測量機 測量原理

1. 來自寬帶光源（SLD *）的輸出光（近紅外光）是具有寬波長范圍的光。
   * SLD：Super Luminescent Diode 一種寬帶和相位對齊的光源。
2. 由于石英管表面反射的光和工件內周面反射的光之間的光路長度不同，因此會發生光干涉。由電機旋轉的掃描鏡會受到旋轉系統的振動影響，但以固定的石英管為參考可以消除振動的影響。
3. 用分光鏡對每個波長的干涉光進行分離，得到各波長的光強（光譜干涉法）。
4. 獲得的波形通過軟件進行分析計算，測量尺寸、形狀、標準等，并以3D形式顯示。